Neste trabalho, foi investigado o uso de Hastelloy C-276 como gaiola catódica para a deposição de filmes finos sobre o substrato de aço AISI 316L por plasma. Os filmes foram tratados a 350, 375 e 400°C por 4 horas com uma mistura hidrogênio-nitrogênio na proporção de 40% e 60%, respectivamente, por potencial flutuante. Os filmes finos foram examinados por difração de raios X, microscopia eletrônica de varredura, espectroscopia Raman e polarização potenciodinâmica. Os resultados da espectroscopia indicaram a formação de várias fases como FeNi3, CrNi e MoN1/2. Os filmes preparados a 375 ºC apresentaram excelente resistência à corrosão com menor potencial de corrosão negativo (-0,020 V). O aumento e diminuição dos teores de FeNi3 e CrNi acompanham o aumento da temperatura aplicada, o que não tem efeito positivo na resistência à corrosão dos filmes.